Vergleich XY

Diese Systeme können als einzelne Komponenten oder als komplette integrierte Bewegungssysteme mit kundenspezifischen Schnittstellen, Kabelmanagementlösungen, Vakuumdurchführungen und anwendungsoptimierten integrierten Granit- und Aluminiumstrukturen konfiguriert und geliefert werden.

Artikel von | PI

Hochpräzise 3-Achsen-XY-Theta-Tische (XYT-Baugruppen) sind in vielen Test- und Produktionsprozessen im Zusammenhang mit der Laserpräzisionsbearbeitung, Halbleiter- und Photoniktests und -produktion sowie der Herstellung medizinischer Geräte von entscheidender Bedeutung. PI bietet ein breites und umfassendes Lösungspaket für integrierte XY-Theta-Bewegungssysteme mit industriellen Motion Controllern. Diese Systeme können als einzelne Komponenten oder als komplette integrierte Bewegungssysteme mit kundenspezifischen Schnittstellen, Kabelmanagementlösungen, Vakuumdurchführungen und anwendungsoptimierten integrierten Granit- und Aluminiumstrukturen konfiguriert und geliefert werden.

Eine ultrahochleistungsfähige XY-Theta-Tischbaugruppe auf Granitbasis, die auf einem planaren luftgelagerten XY-Tisch A-322 mit einem luftgelagerten Drehtisch basiert.

Kompakte, luftgelagerte XY-Theta-Tischbaugruppe mit niedrigem Profil. Sehen Sie den A-311 XY-Luftlagertisch in Bewegung

Die Ingenieurteams von PI verfügen über umfassende Fachkenntnisse und Erfahrung mit Luftlagertechnologie und mehrachsigen Bewegungstischsystemen. Die hochpräzise Leistung technischer Luftlager-Positionierungssysteme sowie ihre verschleißfreie Natur machen sie zu idealen Lösungen für Halbleiteranwendungen mit kombinierten linearen und rotatorischen Bewegungen.

Kundenspezifischer XY-Theta-Tisch basierend auf dem XY-Luftlagertisch A-311 mit langem Hub und dem Drehtisch A-621 für 360° Theta-Z-Rotation

Im Bild oben wird ein spezieller, flacher A-311-Luftlager-Planar-XY-Bewegungstisch mit einem hochpräzisen Luftlager-Rotationstisch der A-621-Serie zu einer präzisen XYT-Baugruppe kombiniert.

Video: XY-Theta-Luftlagertisch basierend auf flachen XY-Planartischen (Modell A-311) und luftgelagertem Theta-Z-Tisch mit Direktantrieb (Modell A-623). Dieser kompakte 3-Achsen-Tisch eignet sich gut für Hochleistungslaser-, Test- und Messanwendungen.

Wenn mehr Freiheitsgrade erforderlich sind, können XY-Tische mit einem flachen Z-Tip-Tilt (ZTT)-Bewegungsmodul kombiniert werden, um 5-Achsen-Systeme wie den 5-DOF-Wafertisch für Halbleitermessanwendungen zu bilden, wie in gezeigt das Video unten. Das ZTT-Modul kann auch zu XY-Theta-Tischen für 6DOF-Bewegungsanwendungen hinzugefügt werden.

Video: 5-Achsen-Wafer-Messtisch mit Luftlagern

PI XY-Theta 3-Achsen-Tischbaugruppen nutzen ACS Industrial Motion Control-Komponenten. Auf ACS basierende PI-Regler nutzen optimierte Konfigurationen für beste Anwendungsleistung. Dazu gehören vorkonfigurierte Systeme mit optimierten Systemparameterinformationen, die sofort einsatzbereit sind – einschließlich bewegungssynchronisierter Geräteauslösung über Laser Control Module (LCM)/Laser Control Interface (LCI)-Hardware sowie funktionale Sicherheitsfunktionen wie Safe Torque Aus.

Das ACS-Lasersteuermodul

Die PL e/SIL 3-zertifizierte Safe Torque Off (STO)-Funktionalität bietet Maschinenbauern eine einfache und kostengünstige Möglichkeit, Maschinensicherheit zu implementieren. STO ist in ausgewählten PI-Motion-Controllern verfügbar.

In vielen Anwendungen ist Kompaktheit entscheidend für die Werkzeugintegration. Der flache Lineartisch V-508 / der flache Drehtisch V-610 mit Direktantrieb und mehrachsigem Bewegungssystem ist ein Beispiel für eine leichte, leistungsstarke 3-Achsen-Baugruppe, die extrem flach und äußerst kompakt ist Darüber hinaus sind sie technologisch flexibel, um sowohl schnelle Schritt- und Setzvorgänge als auch reibungslos koordinierte Scananwendungen mit Fehlertoleranzen im Nanometer- bis Mikrometerbereich optimal zu bewältigen.

XY-Theta-Tischbaugruppe mit freier Apertur für den Lichtweg und einem Verfahrweg von 25 x 80 mm. Die Baugruppe besteht aus zwei kompakten linearen Translationstischen V-508 und einem direkt angetriebenen Rotationstisch V-610.

Industrielle Automatisierungsanwendungen mit hohem Durchsatz für Präzisionsbewegungen erfordern typischerweise sich wiederholende Bewegungen mit höheren Lasten und Beschleunigungen. Hier bietet die Präzisions-Automatisierungstischbaugruppe der Serie V-817 mit direkt angetriebenem Drehtisch (siehe oben) eine hohe Beschleunigung und Bewegung mit hoher Einschaltdauer mit effizienten 3-Phasen-Linearmotoren und Torquemotoren, die eine hohe Dauer- und Spitzenkraft bieten. Die steife Bühnenkonstruktion und das Design aus Aluminiumlegierungen in Flugzeugqualität sorgen für Steifigkeit, um hohe Impulse über kurze Zeiträume mit angemessener Präzision zu bewältigen. Präzisions-Wagen- und Schienenlager werden sowohl für Lasteigenschaften als auch für eine lange Betriebslebensdauer eingesetzt. Der integrierte Hochgeschwindigkeits-Rotationstisch mit Direktantrieb und hohem Drehmoment wird für dynamisches Einschwingen und Scannen verwendet.

PI XY-Theta-Automatisierungssysteme werden anhand von Verfahr-, Leistungs-, Last- und Platzkriterien anwendungsspezifisch skaliert. Die hier gezeigten Lösungen stellen einen kleinen Querschnitt der verfügbaren Optionen für XYT-Bewegungen dar und zeigen die vielfältige Palette an Motor-, Lager-, Encoder- und Designelementen, die dazu beigetragen haben, PI zum Marktführer für Präzisionsbewegungen zu machen.

Hochlast- und Hochgeschwindigkeits-3-Achsen-XY-Theta-Automatisierungstisch mit Direktantrieb. Weitere Informationen zur linearen Translationstischfamilie V-817 und ihren Motion Controllern

Flache XYT-Tischbaugruppe auf V-508/V-610-Basis. Die Scanleistung eines V-508 XY-Tisches wird hier in einem Video gezeigt.

Die in diesem Artikel gezeigten XY-Theta-Tischlösungen stellen eine Vielzahl proprietärer Technologien dar, die bei PI selbst entwickelt wurden, darunter Motoren, Encoder, Lager sowie Materialien und Design. PI ist weltweit führend in der mehrachsigen Präzisionsbewegungssteuerung und leistet Pionierarbeit bei hochpräzisen Lineartischen, Drehtischen und Mehrachsentischen für zahlreiche High-Tech-Anwendungen. Wir haben unsere hochpräzisen XY-Theta-Mehrachsen-Bewegungssysteme kontinuierlich verbessert und vielen Kunden in der Halbleiterfertigung, der Lasermaterialbearbeitung und der Herstellung medizinischer Geräte dabei geholfen, einen höheren Durchsatz und eine höhere Qualität zu erzielen.

PI ist ein privat geführtes Unternehmen, das erstklassige Präzisionsbewegungs- und Automatisierungssysteme einschließlich Luftlagern, Hexapoden und Piezoantrieben an Standorten in Nordamerika, Europa und Asien entwickelt und herstellt. Das Unternehmen wurde vor 5 Jahrzehnten gegründet und beschäftigt heute weltweit mehr als 1300 Mitarbeiter. Zu den Kunden von PI zählen führende Unternehmen aus der High-Tech-Industrie und Forschungsinstitute in Bereichen wie Photonik, Biowissenschaften, Halbleiter und Luft- und Raumfahrt.

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