Bewältigung der Herausforderungen der Bewegungssteuerung in nanometrologischen Anwendungen

Die Nachfrage nach nanometertauglichen Tischen steigt exponentiell, da der Trend zu größerer Präzision und Kontrolle in der Messtechnik und nanometrologischen Anwendungen anhält.

Mit dem Aufkommen modernster Sensortechnologien sind die Messmöglichkeiten immer empfindlicher geworden und ermöglichen die Erkennung und Charakterisierung kleinster Merkmale und Abweichungen in Proben. Um das volle Potenzial dieser fortschrittlichen Sensoren auszuschöpfen, ist es wichtig, über Bewegungssteuerungstische zu verfügen, die die Proben oder Sensoren mit äußerster Präzision und Stabilität bewegen können.

Die Fähigkeit, mehrere hundert Millimeter zu durchlaufen und dabei eine Genauigkeit im Nanometerbereich beizubehalten, eröffnet neue Möglichkeiten für Forschung, Qualitätskontrolle und Herstellungsprozesse, die komplizierte Messungen und Feineinstellungen erfordern. Daher ist die Entwicklung nanometerfähiger Tische von entscheidender Bedeutung, um den Anforderungen der modernen Messtechnik gerecht zu werden und weitere Fortschritte in verschiedenen Branchen zu ermöglichen.

Eventuelle Ungenauigkeiten oder Fehler in der Bewegung können die Messergebnisse erheblich beeinflussen. Selbst geringfügige Abweichungen oder Vibrationen während der Bewegung der Sensoren können zu unerwünschten Geräuschen und Artefakten führen und die Gesamtgenauigkeit der Messungen beeinträchtigen.

„Um diese Herausforderung zu meistern, müssen Bewegungssysteme mit außergewöhnlicher Präzision und Stabilität konstruiert werden. Sie müssen in der Lage sein, eine Auflösung im Subnanometerbereich zu erreichen und über den gesamten Bewegungsbereich enge Toleranzen einzuhalten. Indem sie die Genauigkeit der Sensoren übertreffen, können diese hochentwickelten Systeme eine Auflösung von weniger als einem Nanometer erreichen. „Präzisionsbewegungssysteme stellen sicher, dass die erhaltenen Messungen nicht durch die Bewegung selbst eingeschränkt oder beeinträchtigt werden, sodass Forscher und Industrien das höchstmögliche Maß an Messgenauigkeit erreichen können“, erklärt Bill Hennessey, Präsident von ALIO Industries

Für solche Anwendungen bietet ALIO seine vertikalen Z-Tische und monolithischen XY-Basen an. Die Z-Tische von ALIO zeichnen sich durch ihr innovatives Design aus und bieten eine vertikale Lösung, die vollständig linear basiert und eine Leistung liefert, die mit Luftlagersystemen vergleichbar ist.

Hennessey fährt fort: „Was den Z-Tisch von ALIO auszeichnet, ist seine außergewöhnliche Präzision, die herkömmliche Z-Keil-Lösungen um eine Größenordnung übertrifft. Dies bedeutet, dass unser Z-Tisch ein beispielloses Maß an Genauigkeit und Stabilität bei vertikalen Positionierungsanwendungen erreichen kann.“

Durch die Eliminierung der mit herkömmlichen Z-Keil-Mechanismen verbundenen Nachteile wie Nichtlinearität und mechanische Hysterese gewährleistet das einzigartige Design von ALIO eine konsistente und zuverlässige vertikale Bewegung mit einer Auflösung im Subnanometerbereich und eröffnet neue Möglichkeiten für Nano-Metrologie-Anwendungen und Nanotechnologie sowie die Halbleiterfertigung und Optikfertigung, wodurch OEMs Leistungsniveaus erreichen können, die mit herkömmlichen Lösungen bisher nicht erreichbar waren.

Durch die Verwendung eines vertikalen Z-Tischs auf einer monolithischen XY-Basis kann die Nutzlast des Kunden direkt auf der Oberseite des Tischs in einer Linie mit Motor, Encoder, Lagern und Gegengewicht montiert werden, wodurch überhängende Halterungen minimiert und potenzielle Abbé-Fehler erheblich reduziert werden ( optische Verzerrungen, die aufgrund unterschiedlicher Brennweiten bei verschiedenen Lichtwellenlängen auftreten und zu Farbsäumen und verminderter Bildschärfe führen).

Die monolithischen XY-Tische von ALIO sorgen für eine bisher unerreichte Geradheit und Ebenheit des Verfahrwegs mit Nanometergenauigkeit, um Messunsicherheiten für OEMs in der Messtechnik zu reduzieren und präzisere und zuverlässigere Messdaten zu gewährleisten, die für Qualitätskontrolle, Forschung und Fertigungsprozesse der nächsten Generation von entscheidender Bedeutung sind.

Weitere Informationen: www.alioindustries.com

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