PI entwickelt Magnetschwebe-Lineartisch mit 6DOF-Steuerung

PI, Hersteller von Nanopositionierungsgeräten und Luftlagertischen, hat einen hochpräzisen Technologiedemonstrator auf Magnetschwebebahnbasis entwickelt. Magnetische Levitation ist eine reibungsfreie Bewegungstechnologie, die Magnetfelder nutzt, um Objekte schweben zu lassen und anzutreiben. Die MagLev-Technologie wird in verschiedenen Anwendungen eingesetzt, vor allem bekannt aus Hochgeschwindigkeitszügen und Magnetlagern, und bietet große Vorteile bei Präzisionsbewegungssteuerungs- und Nanopositionierungsanwendungen.

Das Grundprinzip der Magnetschwebebahn besteht darin, dass sich magnetische Pole gegenseitig abstoßen. Um die Magnetschwebebahn in ihrer einfachsten Form zu erreichen, werden zwei Magnete verwendet; Ein Magnet wird in dem Objekt platziert, das schweben soll, und der andere Magnet wird darunter platziert.

Um dieses Prinzip für die Nanopositionierung und Präzisionsbewegungssteuerung, beispielsweise in linearen Translationstischen, nutzbar zu machen, müssen die Magnete in der Basis elektrisch steuerbare Spulen sein und es bedarf mehr als nur eines Paares, um auch seitliche Bewegung, vertikale Bewegung sowie Nick-, Gier-, und Rollen. Für die Rückmeldung an den Motion Controller ist außerdem ein hochauflösendes Positionserfassungssystem erforderlich. Da keine mechanischen Lager die Bewegung der Lineartischplattform einschränken, stehen alle sechs Freiheitsgrade zur Verfügung, um etwaige Lagerunzulänglichkeiten mit einer leistungsstarken Mehrachsensteuerung zu korrigieren.

Mögliche Anwendungen von Magnetschwebebahn-Nanopositionierungssystemen finden sich in der Halbleitertest- und Messtechnik, der Photonik, der Optik und der hochauflösenden Mikroskopie. Vorteile sind die Abwesenheit von Partikelbildung (reinraumtauglich), Verschleiß- und Wartungsfreiheit, mehrdimensional steuerbare Bewegung in einem kompakten Gehäuse und nahezu unbegrenzte Lebensdauer. Im Gegensatz zu luftgelagerten Bühnen ist keine Druckluftzufuhr erforderlich.

PI hat in die Forschung zur Magnetschwebetechnik für Nanopositionierungsanwendungen investiert und wird mit Kunden zusammenarbeiten, um die Technologie gemeinsam voranzutreiben.

Weitere Informationen: www.pi-usa.us



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